Yarı İletken Gaz Arıtma Sistemi için Sinterlenmiş Hat İçi Metal Gaz Filtresi
Sinterlenmiş hat içi metal gaz filtreleri, reaktif bir malzeme yatağı kullanarak nem, oksijen, karbon dioksit, karbon monoksit, hidrokarbonlar ve metal karboniller gibi yabancı maddeleri dışarı atmak için çalışır.Geleneksel partikül filtrelemenin etkisiz olduğu alanlarda yabancı maddeler gaz akışından dışarı atılır.Malzemelerimiz, proses akışına metal veya diğer zararlı kirletici maddeler eklemeden, arka plan düzeyinde kirletici maddelerin giderilmesini sağlar.
Tamamı metal yüksek akışlı filtreler, teslimat noktasında partikülsüz proses gazı sağlamaya yönelik endişeleri ve ihtiyaçları karşılar.Hat içi metal gaz filtresi birsinterlenmiş paslanmaz çelik metal filtrepaslanmaz çelik gövdeye sahiptir.Ürünü sinterlenmiş bir filtre ortamından alıyoruz (sinterlenmiş paslanmaz çelik filtre) son ürüne kadar yarı iletkenler, düz panel ekranlar ve güneş panelleri gibi ürünlerin üretiminde kullanılan bir gaz filtresi.
İle mevcuttursinterlenmiş metal filtretüm proses gazları için filtreleme.Müşterilerimizin kurulum gereksinimlerini karşılamak için çeşitli bağlantı parçaları mevcuttur.Ultra temiz dökme gaz dağıtımının en zorlu ihtiyaçlarını karşılamak için 0,1 µm filtreleme teknolojisiyle mevcuttur.
Uygulamalar:
İnert gazlar
soy gazlar
Reaktif olmayan gazlar
Hidrit gazları
Perflorokarbon ve aşındırıcı gazlar.