Yarı İletken Filtreler

Yarı İletken Gaz Filtreleri:

Talaş Yapımında Kusursuz Gaz Saflığının Sağlanması

Hassasiyet ve saflığın en önemli olduğu yarı iletken üretiminin karmaşık dünyasında,

Kullanılan gazlar prosesin başarısının belirlenmesinde kritik rol oynar. Safsızlıklar, çok küçük seviyelerde bile olsa,

Mikroçiplerin hassas devrelerine zarar vererek onları arızalı ve kullanılamaz hale getirebilir. Korumak için

Bu kritik süreçte, yarı iletken gaz filtreleri kirletici maddeleri titizlikle temizleyen inatçı koruyucular olarak duruyor

ve üretim hatlarından akan gazların bozulmamış kalitesinin sağlanması.

Sinterlenmiş metal filtrelerin birçok mükemmel özelliği ve faydası vardır.

1. Son Teknolojiye Sahip Temiz Oda Ortamında Üretilmiştir

Bu filtreler, olası kirlenmeyi en aza indirmek için kusursuz koşulların titizlikle sağlandığı, son teknoloji ürünü bir temiz odada doğar. Arıtılmış hava atmosferi altında hassas kaynaklamayla başlayan sıkı bir üretim sürecinden geçerler. Daha sonra yapılan deiyonize su yıkaması ve ardından yüksek basınçlı, filtrelenmiş nitrojen temizliği, kalan parçacıkları ortadan kaldırır ve parçacık dökülmesi riskini azaltır.

2. Olağanüstü Parçacık Giderme Verimliliği

SEMI F38 ve ISO 12500 test yöntemleri tarafından belirlenen katı standartlara bağlı kalarak, 0,003μm parçacıklar için 9 LRV'lik dikkate değer bir filtreleme verimliliğine sahip olan bu filtreler, korozyondan kaynaklanan parçacıkları ve hareketli parçalardan üretilen parçacıkları etkili bir şekilde temizleyerek, ortamın bozulmamış saflığını garanti eder. gazlar.

3. Üstün Mekanik Mukavemet

Zorlu üretim süreçlerinde ve sıklıkla yüksek gaz basınçlarının kullanıldığı ortamlarda olağanüstü esnekliği garanti etmek için titizlikle test edilen bu filtreler, kullanım ömrü boyunca değişmez bir performans sağlar.

4. En Yüksek Endüstri Standartlarını Aşmak

Yarı iletken işleme için sıkı gaz işleme filtreleme gereksinimlerini aşan bu filtreler, yarı iletken üretiminde gaz dağıtım sistemlerinin talep ettiği kritik filtreleme verimliliğini, hassas akış kontrolünü ve güvenlik standartlarını karşıladıklarını garanti etmek için sıkı testlere tabi tutulur.

5. Güvenlik Konusunda Sarsılmaz Taahhüt

Yanıcı, aşındırıcı, toksik ve piroforik proses gazlarına maruz kalmaya karşı koruma sağlamak için filtre yuvaları, 1x10-9 atm scc/saniyeden daha düşük dikkate değer bir sızıntı oranına ulaşmalarını sağlayacak şekilde titiz bir sızıntı testine tabi tutulur. Güvenliğe olan bu sarsılmaz bağlılık, tehlikeli gazların kontrol altına alınmasını ve zarar vermelerinin önlenmesini sağlar.

6. Talaş Üretiminde Mükemmellik için Ödün Vermeyen Saflık

Olağanüstü filtreleme yetenekleri, güvenliğe olan sarsılmaz bağlılıkları ve en yüksek endüstri standartlarına bağlılıkları sayesinde bu gaz filtreleri, yarı iletken imalatının karmaşık sürecini korumada çok önemli bir rol oynar. Saflığın koruyucuları olarak duruyorlar, üretim hatlarından yalnızca en temiz gazların akmasını sağlayarak modern dünyamıza güç veren yüksek performanslı mikroçiplerin yaratılmasının önünü açıyorlar.

Yarı İletken Filtre Çeşitleri

Yarı iletken filtreler aşağıdakiler de dahil olmak üzere çeşitli uygulamalarda kullanılır:

* Elektronik üretimi:

Yarı iletken filtreler, yarı iletkenlerin üretiminde kullanılan ultra saf su, gazlar ve kimyasallardan parçacıkları çıkarmak için kullanılır.

* Kimyasal mekanik düzlemselleştirme (CMP):

Yarı iletken filtreler, yarı iletken levhaları parlatmak için kullanılan CMP bulamaçlarından parçacıkları çıkarmak için kullanılır.

* Biyomedikal:

Yarı iletken filtreler, tıbbi teşhis ve tedavilerde kullanılan sıvılardaki parçacıkları uzaklaştırmak için kullanılır.

* Çevresel:

Yarı iletken filtreler hava ve sudaki parçacıkları uzaklaştırmak için kullanılır.

Dört ana yarı iletken filtre türü vardır:

1. Membran filtreler:

Membran filtreler, parçacıkları yakalarken sıvıların geçmesine izin veren ince, gözenekli bir filmden yapılmıştır.

 

Yarı iletkenler için membran filtreler

 

 

2. Derinlik filtreleri:

Derinlik filtreleri, filtreden akan parçacıkları yakalayan kalın, kıvrımlı bir malzeme yatağından yapılmıştır.

 

Yarı iletken için derinlik filtreleri

 

 

3. Adsorban filtreler:

Adsorban filtreler parçacıkları çeken ve tutan bir malzemeden yapılmıştır.

 

 Yarı iletkenler için adsorban filtreler

 

 

4. Sinterlenmiş metal filtreler

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılan bir tür derinlik filtresidir. İnce metal tozunun gözenekli bir yapıya sinterlenmesiyle yapılırlar. Sinterlenmiş metal filtreler, yüksek dayanıklılıkları, yüksek filtreleme verimlilikleri ve yüksek sıcaklık ve basınçlara dayanma yetenekleriyle bilinir.

Yarı iletken üretimi için sinterlenmiş metal filtrelerin avantajları:

* Yüksek dayanıklılık:

Sinterlenmiş metal filtreler çok dayanıklıdır ve yüksek sıcaklıklar, basınçlar ve aşındırıcı kimyasallar dahil olmak üzere zorlu çalışma koşullarına dayanabilir.

 

* Yüksek filtreleme verimliliği:

Sinterlenmiş metal filtreler, hassas yarı iletken bileşenlerin kirlenmeden korunması için gerekli olan, boyutu 0,01 mikrona kadar olan parçacıkları temizleyebilir.

* Uzun kullanım ömrü:

Sinterlenmiş metal filtreler uzun ömürlüdür ve kolaylıkla temizlenip tekrar kullanılabilir.

* Kimyasal uyumluluk:

Sinterlenmiş metal filtreler çok çeşitli kimyasallarla uyumludur, bu da onları çeşitli yarı iletken üretim süreçlerinde kullanıma uygun hale getirir.

Yarı iletken üretiminde sinterlenmiş metal filtrelerin uygulamaları:

* Gaz arıtma:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretiminde kullanılan nitrojen, hidrojen ve oksijen gibi gazları saflaştırmak için kullanılır.

* Kimyasal filtreleme:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretiminde kullanılan asitler, bazlar ve solventler gibi kimyasalları filtrelemek için kullanılır.

* Ultra saf su filtreleme:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretiminde kullanılan ultra saf suyu filtrelemek için kullanılır.

* CMP bulamaç filtrasyonu:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken plakaları parlatmak için kullanılan CMP bulamaçlarını filtrelemek için kullanılır.

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretim sürecinin önemli bir parçasıdır ve yüksek kaliteli yarı iletken cihazların üretiminin sağlanmasına yardımcı olur.

 

Belirli bir uygulamada kullanılan yarı iletken filtrenin tipi, uzaklaştırılan parçacıkların boyutuna, filtrelenen akışkanın tipine ve istenen filtreleme seviyesine bağlıdır.

Farklı yarı iletken filtre türlerini özetleyen bir tablo:

Filtre Türü	Tanım	Uygulamalar	Resim
Membran filtreler	Partikülleri yakalarken sıvıların geçmesine izin veren ince, gözenekli bir filmden yapılmıştır.	Elektronik üretimi, CMP, biyomedikal, çevre	Yarı iletkenler için membran filtreler
Derinlik filtreleri	Filtreden geçerken parçacıkları yakalayan kalın, kıvrımlı bir malzeme yatağından yapılmıştır.	CMP, biyomedikal, çevre	Yarı iletken için derinlik filtreleri
Adsorban filtreler	Parçacıkları çeken ve tutan bir malzemeden yapılmıştır.	Elektronik üretimi, CMP, biyomedikal, çevre	Yarı iletkenler için adsorban filtreler
Sinterlenmiş metal filtreler	İnce metal tozunun gözenekli bir yapıya sinterlenmesiyle yapılmıştır.	Gaz arıtma, kimyasal filtrasyon, ultra saf su filtrasyonu, CMP bulamaç filtrasyonu	Yeni bir pencerede açılırwww.hengko.com Yarı iletkenler için sinterlenmiş metal filtreler

Başvuru

Sinterlenmiş metal yarı iletken gaz filtreleri, yarı iletken endüstrisindeki çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Yüksek filtreleme verimliliği, dayanıklılık ve yüksek sıcaklık ve basınçlara dayanma yeteneği gibi benzersiz özellikleri, onları yarı iletken üretiminde gaz dağıtım sistemlerinin önemli bir bileşeni haline getiriyor.

Sinterlenmiş metal yarı iletken gaz filtrelerinin spesifik uygulamalarından bazıları şunlardır:

1. Gofret üretimi:

Sinterlenmiş metal filtreler, gofret üretiminde kullanılan nitrojen, hidrojen ve oksijen gibi gazları saflaştırmak için kullanılır. Bu gazlar epitaksiyel büyüme, aşındırma ve katkılama gibi işlemler için gereklidir.

2. Kimyasal filtreleme:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretiminde kullanılan asitler, bazlar ve solventler gibi kimyasalları filtrelemek için kullanılır. Bu kimyasallar temizleme, aşındırma ve cilalama gibi çeşitli amaçlar için kullanılır.

3. Ultra saf su filtrelemesi:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken üretiminde kullanılan ultra saf suyu (UPW) filtrelemek için kullanılır. UPW, gofretlerin temizlenmesi ve durulanmasının yanı sıra kimyasalların hazırlanması için de gereklidir.

4. CMP bulamaç filtrasyonu:

Sinterlenmiş metal filtreler, yarı iletken plakaları parlatmak için kullanılan CMP bulamaçlarını filtrelemek için kullanılır. CMP, mikroçiplerin üretiminde kritik bir süreçtir.

5. Kullanım noktası (POU) filtrelemesi:

Sinterlenmiş metal filtreler genellikle en yüksek düzeyde filtreleme sağlamak için doğrudan kullanım noktasına kurulan POU filtreleri olarak kullanılır. POU filtreleri, mikroişlemcilerin ve diğer yüksek performanslı cihazların imalatı gibi gazın saflığının kritik olduğu uygulamalar için özellikle önemlidir.

6. Yüksek saflıkta gaz kullanımı:

Sinterlenmiş metal filtreler, yüksek saflıktaki gaz işleme sistemlerinde, yarı iletken üretiminde kullanılan gazlardaki kirletici maddeleri uzaklaştırmak için kullanılır. Bu kirletici maddeler parçacıkları, nemi ve organik bileşikleri içerebilir.

7. Mikroelektronik üretimi:

Sinterlenmiş metal filtreler, bilgisayarlar, tabletler, cep telefonları, IoT sensörleri ve kontrol cihazları gibi mikroelektroniklerin üretiminde kullanılır.

8. Mikro-elektromekanik sistemler (MEMS) filtrelemesi:

Mikro elektromekanik sistemlerden kirletici maddelerin uzaklaştırılması işlemi olan MEMS filtrasyonunda sinterlenmiş metal filtreler kullanılmaktadır. MEMS, sensörler, aktüatörler ve dönüştürücüler dahil olmak üzere çeşitli uygulamalarda kullanılır.

9. Veri depolama cihazı filtrelemesi:

Sinterlenmiş metal filtreler, sabit sürücüler ve katı hal sürücüleri gibi veri depolama aygıtlarından kirletici maddelerin uzaklaştırılması işlemi olan veri depolama aygıtı filtrelemesinde kullanılır.

Bu spesifik uygulamalara ek olarak, sinterlenmiş metal yarı iletken gaz filtreleri, yarı iletken endüstrisindeki çeşitli diğer uygulamalarda da kullanılmaktadır. Çok yönlülüğü ve güvenilirliği, onları yarı iletken üreticileri için vazgeçilmez bir araç haline getiriyor.

En kaliteli sinterlenmiş metal yarı iletken gaz filtrelerini mi arıyorsunuz?

HENGKO, yarı iletken üretim sistemlerinde OEM çözümleri için başvuracağınız ortağınızdır.

Hassas bir şekilde tasarlanmış filtrelerimiz, süreçlerinizde güvenilirlik ve verimlilik sağlayarak rekabetçi bir pazarda size avantaj sağlar.

Neden HENGKO'nun Filtrelerini Seçmelisiniz?

* Üstün kalite ve dayanıklılık
* Özel ihtiyaçlarınıza uyacak özelleştirilmiş çözümler
* Yarı iletken üretimi için geliştirilmiş performans

Filtrasyon zorluklarının üretiminizi engellemesine izin vermeyin.

Sinterlenmiş metal filtrelerimizin üretim sisteminizde nasıl devrim yaratabileceğini keşfetmek için bugün bize ulaşın.

Bize şu adresten ulaşın:ka@hengko.com

HENGKO ile ortak olun ve yarı iletken üretiminde mükemmelliğe doğru bir adım atın!