Yarı İletken Temiz Oda Sıcaklık Nem Kontrol Şeması için Sıcaklık ve Nem Sensörü
ürün gösterimi
SıcaklıkveTemiz mekanın nemi esas olarak proses gereksinimlerine göre belirlenir, ancak proses gereksinimlerinin karşılanması koşuluyla konfor hissi dikkate alınmalıdır.Hava temizliği gerekliliklerinin iyileştirilmesiyle birlikte, sıcaklık ve nem için giderek daha katı gerekliliklere yönelik bir eğilim olmuştur.
İşleme doğruluğu gittikçe daha iyi hale geldikçe, sıcaklık dalgalanma aralığı da daha az ve daha azdır.Örneğin, büyük ölçekli entegre devre üretiminin litografik maruz bırakma sürecinde, maske malzemesi olarak cam ve silikon gofret arasındaki termal genleşme katsayısı farkının giderek küçülmesi gerekir.Çap 100 um silikon gofret, sıcaklık artışı 1 derece, 0.24um doğrusal genleşmeye neden olur, bu nedenle ± 0.1 derecelik bir sıcaklık olmalıdır, aynı zamanda nem değeri genellikle düşüktür, çünkü insanlar terler, ürün kirliliğe sahip olur, özellikle sodyum yarı iletken atölyesinden korkan bu atölye 25 dereceyi geçmemelidir.
Yüksek nem daha fazla soruna neden olur.Bağıl nem %55'i geçtiğinde, soğutma suyu borusunun duvarında çiy oluşacak ve bu da hassas cihazlarda veya devrelerde meydana gelirse çeşitli kazalara neden olacaktır.Bağıl nem %50 olduğunda paslanması kolaydır.Ek olarak, nem çok yüksek olduğunda, silikon çipin yüzeyine yapışan toz, ayrılmaya direnmek için yüzeyde kimyasal olarak emilecektir.Bağıl nem ne kadar yüksekse, yapışmanın giderilmesi zordur, ancak bağıl nem %30'un altında olduğunda, elektrostatik kuvvetin etkisi nedeniyle parçacıkların yüzeyde adsorbe edilmesi kolaydır ve çok sayıda yarı iletken cihaz kullanılır. bozulmaya eğilimli.Gofret üretimi için optimum sıcaklık aralığı %35-45'tir.
Bu nedenle, sıcaklık ve nemin kontrolü özellikle önemlidir, HENGKO size bir dizi sağlayabilirsıcaklık ve nem vericisi özelleştirilmiş işleme çözümleri!
Yarı İletken Temiz Oda Sıcaklık Nem Kontrol Şeması için Sıcaklık ve Nem Sensörü
İhtiyaçlarınızı karşılayan bir ürün bulamıyor musunuz?için satış ekibimizle iletişime geçin.OEM/ODM özelleştirme hizmetleri! 
