Ultra Saf Yarı İletken Gaz Sistemleri için Gelişmiş IGS Yüzeye Monte C-Sızdırmazlık Filtreleri
Tanım
HENGKO Yüzeye Montaj Filtreleri, yarı iletken OEM cihazlarında kullanılan entegre gaz sistemlerinin zorlu gereksinimlerini karşılamak üzere tasarlanmıştır. 0,003 µm'de sektör lideri filtrasyon sunan bu filtreler, 120 slpm'de ≥%99,9999999 (9-LRV) partikül yakalama verimliliği ile olağanüstü performans ve güvenilirlik sağlar.
Filtre elemanı ve gövdesi için sağlam 316L paslanmaz çelik toz sinterleme yöntemiyle üretilen bu filtreler, SEMI F86-0304 spesifikasyonlarına uygundur ve C-sızdırmazlık konfigürasyonuna sahip 1,125” gaz dağıtım sistemleri için özel olarak tasarlanmış iki portlu bileşenlere sahiptir. 100°C'de maksimum 3,4 MPa giriş basıncını ve 100°C'de maksimum 0,69 MPa çalışma basıncı farkını desteklerler.
Hem C tipi hem de W tipi sızdırmazlık özellikleriyle uyumlu olan bu özel filtreler, partikül salınımı ile birlikte aşağı akışta temizlik sağlar.
Ra yüzey kalitesiyleDış yüzeyde < 1,6 µm ve Raİç yüzeyleri < 0,13 µm olan bu filtreler, 460°C'ye kadar yüksek sıcaklıklara dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Kolay entegrasyon ve modüler tasarım yükseltmeleri için tasarlanan bu filtreler, kurulum ve bakımı basitleştirerek yarı iletken gaz dağıtım ve kontrol uygulamalarında sistem performansını optimize etmeye yardımcı olur.
Ürün Özelliği
▶ Tamamı 316L paslanmaz çelikten üretilmiştir.
▶ Minyatürleştirilmiş tasarım, kompakt yapı, yerden tasarruf
▶ Mükemmel gaz değişimi ve desorpsiyon özellikleri
▶ Yüksek sıcaklığa, yüksek basınca ve korozyona dayanıklı
▶ Elektro-parlatılmış 316L paslanmaz çelik gövde
▶ Kolay ve verimli kurulum ve bakım
▶ Mekanik sızdırmazlık, yapısal olarak ortama kaynaklanmamıştır.
Veri sayfası
| Teknik Parametreler | Değerler |
|---|---|
| Filtre Elemanı Malzemesi | 316L Paslanmaz Çelik Sinterlenmiş Toz |
| Konut Malzemesi | 316L Paslanmaz Çelik |
| Maksimum Giriş Basıncı | 3,4 MPa @ 100°C |
| Maksimum Çalışma Farkı | 0,69 MPa @ 100°C |
| Helyum Doğrulama Sızıntı Oranı | 1x10⁻¹¹ cc/dak |
| Helyum Testi Sızıntı Oranı | 1x10⁻⁹ cc/dak |
| Yüzey İşlemi | Dış Yüzey Ra< 1,6 μm |
| İç Yüzey Ra< 0,13 μm | |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 460°C |
| Parçacık Yakalama Verimliliği | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Referans MPPS, tüm parçacıklar) |
| Aşağı Akış Temizliği | Parçacık Salınımı:< 0,03 parçacık/litre (< 1 parçacık/ft³) |
| Uçucu maddeler:< 10 ppb nem | |
| Parçacık Yakalama Boyutu | ≥0,003 μm |
| Akış Aralığı | 0 ~ 120 slpm |
Boyut
İşte sipariş edebileceğiniz parça numarası ve boyut bilgileri:
| Ürün Modeli | Akış Hızı | Yükseklik H (mm) | Filtrasyon Hassasiyeti | Temizlik Seviyesi |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0,003 μm | C |
Tipik Uygulamalar
W-seal ve C-seal, 1.125” ve 1.5” yüzeye monte modüler gaz dağıtım sistemleriyle kullanım içindir.
Mesajınızı bize gönderin:
