Ultra Temiz Yarı İletken Üretimi için Yüksek Saflıkta Filtrasyon
Tanım
Yüksek Akışlı Gaz Filtresi – Özellikle yarı iletken üretiminde ultra yüksek saflıkta proses gazı filtrasyonu için tasarlanmıştır. 316L paslanmaz çelikten hassas bir şekilde üretilen bu filtre, yüksek akış hızlarında düşük direnç sağlamak için çok kolonlu veya istiflenmiş disk ortam tasarımına sahiptir ve ultra yüksek saflık gereksinimlerini karşılamak için 0,003 μm'ye ulaşan filtrasyon doğruluğuna sahiptir. Tamamen metal yapısı, yüksek sıcaklık dinamik ortamları için ideal bir filtrasyon çözümü olmasını sağlar.
Ürün Özelliği
▶Tamamı 316L Paslanmaz Çelik Yapı— Dayanıklılık ve korozyona karşı direnç sağlar.
▶Yüksek Akış Hızı, Düşük Direnç— Minimum basınç kaybıyla yüksek akış için optimize edilmiştir.
▶Ultra Yüksek Parçacık Tutma Verimliliği— Son derece saf koşulları korumak için mükemmeldir.
▶Yüksek sıcaklıklara, basınca ve korozyona dayanıklıdır.— Zorlu ortamlara uygundur.
▶Çeşitli Proses Gazlarıyla Uyumludur— Çeşitli endüstriyel uygulamalar için çok yönlü.
▶Temiz oda üretimi, test ve paketleme için idealdir.— Kontrollü ortamlarda kullanım için mükemmeldir.
▶%100 Bütünlük Testi— Her filtre, kalite güvencesi için kapsamlı bütünlük testlerinden geçirilmektedir.
▶%100 Helyum Kaçak Testi— Kritik uygulamalarda güvenilirliği sağlamak için helyum sızıntısı testiyle doğrulanmıştır.
Veri sayfası
Teknik Parametreler
| Parametre | Özellikler |
|---|---|
| Filtre Elemanı Malzemesi | 316L paslanmaz çelik toz sinterleme |
| Konut Malzemesi | 316L paslanmaz çelik |
| Maksimum Giriş Basıncı | 207 bar |
| Maksimum Çalışma Fark Basıncı | 5,2 bar |
| Helyum Doğrulama Sızıntı Oranı | 2 x 10⁻¹⁰ cc/dak |
| Helyum Testi Sızıntı Oranı | 1 x 10⁻¹⁰ cc/dak |
| Yüzey İşlemi | |
| Dış Yüzey | Ra < 1,6 μm |
| İç Yüzey | Ra < 0,2 μm |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | |
| İnert Gaz | 400-500℃ |
| Aşındırıcı ve Reaktif Gaz | 50℃ |
| Parçacık Tutma Verimliliği | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Aşağı Akış Temizliği | ≤0,03 parçacık/litre @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Parçacık Tutma Boyutu | ≥0,003 μm |
Boyut
İşte sipariş edebileceğiniz parça numarası ve boyut bilgileri:
| Ürün Modeli | Filtre Elemanı Malzemesi | Filtrasyon Doğruluğu (μm) | Bağlantı Türü |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L Paslanmaz Çelik | 10~0.003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L Paslanmaz Çelik | 10~0.003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L Paslanmaz Çelik | 10~0.003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L Paslanmaz Çelik | 10~0.003 | 1” |
| Özelleştirilebilir | 316L Paslanmaz Çelik | 10~0.003 | Gerektiğinde |
Tipik Uygulamalar
bazı tipik uygulamalarıYüksek Saflıkta Toplu ve Kullanım Amaçlı FiltrelerVeGaz Platformunda Gaz Akışı Filtreleri:
1. Yarı İletken Üretimi
*Yarı iletken levha üretimi, aşındırma ve kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemleri için ultra saf gaz tedarikini sağlar.
*Azot, argon ve diğer taşıyıcı gazlar için toplu gaz dağıtım sistemlerinde yüksek saflığı korur.
2. İlaç Üretimi
*Kritik üretim ortamları için steril ve partikül içermeyen gaz sağlar.
*Ürün bütünlüğünü korumak için temiz odalar ve kontrollü ortamlar için yüksek saflıkta filtrasyonu destekler.
3. Laboratuvar Gaz Sistemleri
*Laboratuvar ortamlarında gaz kromatografisi ve kütle spektrometrisi gibi analitik ekipmanlarda gaz akışlarını saflaştırmak için kullanılır.
*Araştırma ve test uygulamaları için yüksek saflıkta gazlar sağlar ve hassas cihazları korur.
4. Gıda ve İçecek İşleme
*Karbonatlama, paketleme ve depolamada kullanılan CO₂ ve diğer gazları filtreleyerek gıda güvenliğini ve kalitesini korur.
*Özellikle büyük ölçekli doğalgaz dağıtım şirketleri için, işleme tesislerinde kirlenme içermeyen doğalgaz tedarikini sağlar.
5. Petrol ve Doğalgaz Endüstrisi
*Doğal gaz akışlarını gaz filtreleme sisteminde arındırarak, depolama veya taşıma öncesinde kirleticileri giderir.
*Yüksek basınçlı gaz akış sistemlerinde partikülleri, nemi ve safsızlıkları gidererek aşağı akış ekipmanlarını korur.
6. Kimyasal Üretim
*Kimyasal sentez ve reaksiyonlarda kullanılan azot ve argon gibi yardımcı gazları filtreler.
*Gaz saflığını koruyarak kirlenmeyi ve reaksiyon tutarsızlıklarını önler.
7. Havacılık ve Savunma
*Havacılık ve uzay malzemeleri ve bileşenleri için üretim ve test ortamlarında yüksek saflıkta gazlar sağlar.
*Uçak ve savunma ekipmanı montajı için kontrollü ortamlarda tutarlı gaz saflığını sağlar.
8. Enerji Üretimi (Enerji Santralleri)
*Özellikle yüksek sıcaklık ortamlarında soğutma ve proses uygulamaları için yüksek basınçlı gazları filtreler.
*Gaz soğutma ve akış sistemlerinde kirlenmeyi önleyerek verimliliği artırır ve ekipman aşınmasını azaltır.
Bu fFiltreler, temiz ve tutarlı gaz akışı gerektiren her uygulamada olmazsa olmazdır ve ekipman korumasını artırır.
Sektörler genelinde süreç verimliliği ve nihai ürün kalitesi.
Mesajınızı bize gönderin:
